このマイクロXRF分光計の主な利点は、その超高空間分解能であり、これにより、厚さ1μm × 直径10μmの最小サイズのサンプルの元素分析を実現できます。 冷却シリコンドリフト検出器を採用し、高いスペクトル分解能と低いバックグラウンドノイズを確保し、微量元素の検出感度を向上させます。 最大1000倍の倍率の内蔵光学顕微鏡により、ユーザーは検出領域をすばやく見つけることができ、サンプル検出の精度が向上します。 3D要素分布マッピングソフトウェアは、サンプルの要素分布を視覚的に表示でき、ユーザーがサンプルの微細構造とコンポーネント分布を深く分析するのに役立ちます。 従来のXRF機器と比較して、高精度のサンプルステージを備えており、マルチポイント検出とエリアスキャンのニーズを満たす3方向にサンプルを正確に移動できます。
器具の全体寸法は1200mm × 800mm × 1500mmであり、総重量は800kgである。 X:100mm、Y:100mm、Z:50mmの移動範囲の高精度モーター駆動のサンプルステージが装備されています。そして位置精度は ≤ 1μmです。 励起電圧は0-50kVから調整可能であり、励起電流は0-100μAから調整可能です。 空間分解能は ≤ 5μmであり、スペクトル分解能はMn K α で ≤ 130eVであり、ナトリウムからウランまでのすべての元素をカバーしています。 3D要素分布マッピングソフトウェアは、2Dおよび3D要素分布画像を生成し、複数の形式でデータエクスポートをサポートできます。
このマイクロXRF分光計は、主に、古代の陶磁器、青銅器、書道、塗装顔料の非破壊分析など、文化的遺物の保護や考古学的研究に適用できます。文化的遺物の修復と年齢の特定のための科学的基礎を提供します。 また、マイクロチップ、はんだ接合部、その他のマイクロコンポーネントの元素分布を検出するなど、半導体業界のマイクロ材料分析にも適しています。そしてマイクロ电子デバイスの品质を分析する。 さらに、微量塗料、繊維、その他の証拠の元素成分の検出など、法医学的な微量証拠分析に使用でき、犯罪捜査の科学的支援を提供します。
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