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この圧電式変位計の中核的な利点は超高解像度であり、従来の接触式変位計では捉えられない微小変位の変化を検出することができます。非接触式の圧電検知設計を採用しているため、軟らかい、壊れやすい、あるいは精密な被測定物の表面を傷つけたり磨耗させたりすることがなく、検査時の被測定物の完全性を確保します。内蔵の高速データ取得チップは最大10kHzのサンプリング周波数に対応し、動的な変位変化のリアルタイムモニタリングを実現しています。2種類の迅速な取り付け方法に対応しており、5分以内に狭い空間に設置することが可能です。付属のデータ分析ソフトウェアは標準化された計測レポートを自動的に生成し、ユーザーが試験データを迅速に整理・分析するのを支援し、事後のデータ処理の作業量を削減します。
計測範囲:0~50mm;分解能:0.01μm;精度:±0.05% F.S.;出力信号:USB 2.0 / RS485 Modbus;保護等級:IP54;動作温度:10℃~60℃;電源:USB経由の5V DC;プローブ素材:PZT圧電セラミック;全体寸法:120mm(奥行)×60mm(幅)×40mm(高さ);取り付け方法:磁気吸着 / 接着剤による取り付け;応答周波数:0~10kHz。
主に精密工作機械の位置決め検出、半導体ウエハのアライメント計測、マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)の性能試験、光学機器の軸校正、大学の科学研究における微小変位の実験研究に使用されています。精密製造業界では、工具先端の磨耗や精密部品の変形を検出することができます;半導体分野では、チップ実装設備の高精度アライメントを実現するのを支援します;医療機器の試験にも使用でき、手術中の手術器具の微小変位変化を検出し、医療機器の性能検証のためのデータサポートを提供します。