この研究室用CMMは空気軸受けサーボドライブシステムを搭載しており、運動時の摩擦がゼロで、超高精度な運動精度と長期的な安定性を確保しています。高い耐摩耗性と±0.05μmの超高繰り返し位置決め精度を持つルビー接触式プローブを採用しています。専用の計測校正向けソフトウェアPC-DMIS Calibration 2024を搭載し、高精度なデータ分析と誤差補正に対応しています。また、恒温実験室環境向けに特別に設計されており、18～22℃の環境で安定した計測精度を維持することができます。さらに、完全な校正・検証機能を搭載しており、国の計測認証の要件を満たすことができます。
具体的な技術仕様は以下の通りです。有効計測範囲はX軸600mm、Y軸500mm、Z軸400mm。総合計測精度は±0.2μm（ISO 10360-2国際計測規格に準拠）。ドライブシステムは空気軸受けサーボシステムを採用し、摩擦ゼロと超高運動精度を実現。対応計測ソフトウェアはPC-DMIS Calibration 2024で、計測校正と高精度なデータ分析に対応。作業台は天然大理石製で熱膨張係数が極めて低い。作業台の最大積載量は300kg。プローブはルビー接触式プローブで、高感度と耐摩耗性を備える。データインターフェースはGPIBとギガビットイーサネットを搭載し、専門的なデータ伝送に対応。機全体の寸法は1200mm×1000mm×1600mm。電源は220V 50Hz/60Hzで、18～22℃の恒温実験室環境に適しています。繰り返し位置決め精度は±0.05μmです。
本製品は主に計測研究所、半導体研究開発、精密機器校正、航空宇宙分野の精密部品検査などの分野で使用されています。代表的な適用シナリオには、標準計測ツールの校正、半導体チップの寸法検査、精密機器部品の校正、航空宇宙用精密部品の高精度検査が含まれます。計測研究所では、他の計測機器を校正するための標準検査機器として使用し、計測単位の統一を確保することができます。
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