従来の変位センサーと比較して、この圧電式変位センサーには3つのコアアドバンテージがあります。第一に、最大応答周波数が10kHzであり、高周波振動および動的変位の検出要求に応えることができます。第二に、圧電セラミックスタック構造を採用しており、ヒステリシスがなく線形性が良好で、高精度な微小変位制御を実現できます。第三に、±0.005μmまでの超高位置決め精度を備えており、ハイエンド機器の超高精度位置決めの要求に応えることができます。これにより、従来の変位センサーの応答速度が遅い、線形性が悪い、位置決め精度が低いといった課題を解決し、高周波の微小変位検出および位置決めのための信頼性の高いソリューションを提供します。
この圧電式高周波変位センサーの具体的な技術パラメータは以下の通りです。変位範囲：0～100μm；測定精度：±0.005μm；線形性：±0.5%FS以下；応答周波数：最大10kHz；帯域幅：15kHz；出力信号：電荷信号または電圧信号；コア素材：圧電セラミックスタック；筐体素材：耐食性に優れたSUS304ステンレス鋼；電源：DC10V～DC150V；動作温度：-20℃～60℃；相対湿度：結露のない状態で20%～80%RH；保護等級：IP63、一般的な産業環境に対応；全体寸法：80mm × 40mm × 25mm。
この圧電式高周波変位センサーは、複数のハイエンドな精密産業シナリオに対応しています。半導体リソグラフィ産業では、レンズやステージの高精度位置決めに使用してチップ製造の精度を確保することができます。音響試験産業では、音響部品の振動検査やオーディオ機器の性能試験に使用することができます。MEMS産業では、マイクロ電気機械システムの性能試験や微小部品の高精度制御に使用することができます。精密製造産業では、高速工作機械の動的変位検出や工具摩耗監視に使用することができます。ハイエンド機器に高周波かつ超高精度の変位データを提供することで、企業の製品生産の精度と効率向上を支援します。
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