この自動レーザー顕微鏡の中核的な利点は、完全自動化された検査ワークフローにあります。手作業による介入なしに、サンプルの配置、焦点合わせ、撮像、欠陥分析を自律的に完了できます。高出力可視レーザースキャニングシステムを採用しており、金属、プラスチック、半導体表面の0.1μmという微小な欠陥を明確に検出することが可能です。内蔵されたAI欠陥認識アルゴリズムは、欠陥を自動的に分類・定量でき、品質管理の効率を大幅に向上させます。また、産業用イーサネットインターフェースを介した遠隔監視とデータアップロードに対応しており、スマートファクトリーのデータ相互接続の要件に対応しています。
主な仕様は以下の通りです：全体寸法 1200mm（奥行）×800mm（幅）×1500mm（高さ）、正味重量350kg、入力電源220VAC 50Hz、最大消費電力1800W。自動ステージはX/Y/Z軸の精密移動に対応し、最大ストロークは100mm×100mm×50mmです。6連自動対物レンズタレットを搭載し、5倍から50倍までの対物レンズに対応しています。AI分析ソフトウェアはカスタマイズ可能な欠陥検出テンプレートに対応し、PDF形式の標準品質管理レポートを出力することができます。
この製品は主に、半導体ウェハの欠陥検査、精密機械部品の寸法測定、プラスチック部品の表面欠陥検査、電子部品の品質管理といった産業用精密部品検査シナリオに適しています。半導体製造、航空宇宙部品加工、家電製品製造などの業界で広く活用されています。例えば、半導体メーカーはこの機器を使用してウェハ表面の微小な亀裂や汚染物質を自動的に検出し、大量生産されるウェハの100%全数検査を実現できます。
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