この顕微鏡の主な特長は、超高解像度0.1μmのイメージング性能、±0.05μmのステージ位置決め精度、AI搭載の自動欠陥検出機能を備えていることです。従来のウエハ検査装置の課題であった検査効率の低さや見逃し率の高さを解消し、専用の半導体解析ソフトウェアにより自動で欠陥レポートを作成し、プロセス最適化のためのデータサポートを実現します。
主な仕様は、50x～2000xの拡大倍率範囲、出力0～15mWに調整可能な532nmのグリーンレーザー光源、100mm²/sのスキャンスピード、対応対物レンズが5x/20x/50x/100x/1000xオイルレンズとなっています。本装置には内蔵の恒温制御システムが搭載されており、長時間の検査でも安定した性能を確保できるほか、産業用生産ラインの管理システムとの接続に対応しています。
このウエハ検査用レーザー顕微鏡は、半導体ウエハの欠陥検査、チップパッケージの品質検査、MEMSデバイスの表面解析、太陽電池パネルの高精度検査に活用されています。半導体製造工場や電子部品生産企業向けに専門的な検査ソリューションを提供します。
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