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航空機用アルミニウム合金一体成形筐体を採用し、長期運用時の機器の安定性と耐干渉性を確保しています。垂直解像度は0.0005μmに達し、測定精度は読み取り誤差の±0.1%に達します。異なる半径のダイヤモンドスタイラスをカスタマイズでき、異なる素材や表面形状のワークの検出に対応します。10インチの産業用タッチスクリーンを搭載し、直感的なパラメータ設定と3D形状視覚分析をサポートします。内蔵されたプロの研究用グレード粗さ分析ソフトウェアは、ISO、ASTM、GBなど複数の国際規格に対応したテストレポートを生成できます。USB3.0、イーサネット、HDMIの複数のインターフェースをサポートしており、高性能ワークステーションに直接接続して詳細なデータ分析を実施できます。多点検出と形状スキャン機能をサポートし、研究レベルの複雑な表面測定のニーズに応えます。

本体の全体サイズは650mm×450mm×300mmで、総重量は約15kgです。垂直測定解像度は0.0005μmで、測定範囲は0~500μmをカバーしています。測定精度は読み取り誤差の±0.1%に達します。AC100-240Vのワイド電圧電源に対応し、USB3.0、イーサネット、HDMIの複数のデータインターフェースを搭載しています。内蔵された研究用グレード粗さ分析ソフトウェアは50種類以上の表面パラメータレポートを生成でき、カスタマイズされたスタイラスと測定プログラムをサポートします。保護等級はIP20で、クリーンルームでの使用に適しています。高精度な測定の環境安定性を確保するため、動作温度範囲は18~30℃です。外部の高精度3軸スキャンプラットフォームをサポートし、複雑な曲面の形状検出を実現できます。

主に大学や研究機関、半導体研究開発企業、光学レンズメーカー、航空宇宙材料研究所などのシナリオで使用されます。例えば、半導体ウエハーの表面形状検出、新規複合材料の表面性能研究、航空機エンジンブレードの高精度粗さ検出に使用できます。また、国際規格の表面パラメータ校正にも使用でき、ハイエンドな研究開発の高精度測定ニーズに応えます。