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この実験室グレードの形状測定器は花崗岩製ベースを採用して優れた安定性を確保し、環境の振動による干渉を低減しています。垂直解像度は最大0.0001μmで、超微細な表面形状を検出することが可能です。モーター駆動のX/Y軸移動プラットフォームを搭載し、多点自動検出と広域輪郭スキャンに対応しているため、複雑な部品の検査ニーズに応えられます。先端半径(0.5μm、1μm、2μm、5μmから選択可)の複数種類の交換式ダイヤモンドスタイラスに対応しており、様々な検査シナリオに適応できます。15.6インチ4Kタッチスクリーンと専用解析ソフトウェアにより、形状フィッティング、表面テクスチャ解析、摩耗量解析など、検出データの詳細な分析を実施できます。ISO 17025およびNISTトレーサブルな校正を取得しているため、検出データが国際的な科学研究や高精度検査の要件を満たすことを保証します。また遠隔操作およびクラウドデータ管理に対応しており、科学研究データの共有を実現できます。

測定パラメータ:30種類以上の表面粗さパラメータと20種類以上の輪郭パラメータに対応しており、3次元表面粗さ解析、輪郭誤差解析などを含みます。測定範囲:Ra 0~3000μm、Rz 0~20000μm、水平測定範囲X軸0~300mm、Y軸0~200mm、垂直測定範囲0~50mm。垂直解像度:0.0001μm、測定精度:読み取り値の±0.1%+0.002μm以下。スタイラス仕様:ダイヤモンド製、先端半径(0.5μm、1μm、1.5μm、2μm、5μmから選択可)、先端角度90°、スタイラス荷重調整可能(0.1~1.0mN)。ディスプレイ:15.6インチ4K IPSタッチスクリーン、解像度3840×2160。電源:AC 100~240V 50/60Hz、データ保護用内蔵5000mAhバックアップバッテリー。外形寸法:縦800mm×横500mm×高さ400mm、本体重量45kg。動作環境温度:20℃±2℃、湿度40%~60%RH。データ保存:100万セットの検出データを保存可能、クラウド同期に対応。インターフェース:USB3.0、イーサネット、Wi-Fi 6。自動ステージ:モーター駆動X/Y軸、位置決め精度±0.01mm。

この実験室グレードの粗さプロファイラは、主に大学の研究室、国の重点科学研究機関、ハイエンドな半導体製造業、航空宇宙分野の精密部品加工、新素材研究開発の現場で使用されます。半導体ウェハ、航空機エンジンブレード、新素材表面コーティング、光学部品などの超高精度部品の表面品質を検出するために使用できます。また科学研究プロジェクトにおいて表面形状の詳細な分析を実施し、新素材や新プロセスの開発のためのデータサポートを提供できます。さらに他の検査機器の校正にも使用でき、検査システム全体の精度を保証することができます。