コンパクトなモジュール設計を採用し、自動スピンドルキャリブレーションシステムを搭載しており、スタートアップの準備を迅速に完了できます。微細ワーク用の専用治具の迅速な交換に対応しています。静電容量式センサは微細部品の表面を傷つけることがありません。高精度な温度補償機能を搭載し、環境温度の変化が検出結果に与える影響を排除しています。ワンクリックで検査レポートを生成でき、データを専用分析ソフトウェアにエクスポートして詳細な分析を行うことができます。操作インターフェースがシンプルで直感的で、オペレーターの使用ハードルを低減しています。
本体サイズ：600mm(L) × 400mm(W) × 800mm(H)、検出精度 0.08μm、最大ワーク径 50mm、ワーク高さ範囲 10-100mm、静電容量式センサ範囲 ±100μm、スピンドル回転精度 ≤0.03μm、電源 DC 24V 5A、消費電力 約100W、総重量 45kg、動作温度 20±3℃、相対湿度 35-65% RH、データ保存容量 ≥2000セット、検出繰り返し精度 ≤0.04μm。
半導体パッケージング、微細機械製造、医療電子機器などの産業における微細部品の品質管理に適しています。具体的には、チップパッケージピンの真円度検査、微細軸受の内輪・外輪の検査、微細歯車の形状誤差検査、精密医療機器用微細部品の検査、微細モーターローターの検査に使用できます。微細製造企業が微細部品の品質と均一性を向上させるのを支援できます。
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