電子産業の超高純度要件を満たすため、この製品は3段階分子蒸留と膜ろ過精製技術を採用し、全金属不純物を10ppb以下、水分含有量を0.001%以下に低減しています。塩素系洗浄剤とは異なり、シリコンウエハやガラス基板などの精密部品に腐食性またはハロゲン系残留物を残しません。またEU RoHSおよびREACH規格に適合しており、海外の電子メーカーに環境規制順守のリスクをなくしています。
この電子グレードDMCは無色無臭の透明な液体で、最小純度99.99%、水分含有量0.001%以下、APHA価5以下、20℃での密度1.068g/cm³です。Fe、Na、K、Caを含む全ての金属不純物は10ppb以下に管理されています。包装は20KGの食品グレードステンレス鋼製密閉ドラムを使用しており、適合しています。直射日光を避けて恒温クリーンルームで保管した場合、18ヶ月の賞味期限があります。
主な用途は半導体ウエハ製造におけるフォトレジストの剥離と洗浄で、精密な回路構造を損なうことなく有機残留物を効率的に除去します。また高性能リチウム電池電解質における重要な共溶剤として、エチレンカーボネートと併用することで、新エネルギー車両用動力電池のイオン伝導性と低温放電性能を向上させます。その他の用途としては、フラットパネルディスプレイアレイの洗浄や精密電子部品の脱脂があり、ウエハファブ、リチウム電池セルメーカー、ディスプレイパネルメーカーに対応しています。
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