この静電容量式変位計は、マイクロ・ナノ計測シチュエーションにおいて複数のコアアドバンテージを持っています。第一に、±0.001μmまでの超高測定精度を持ち、ナノメートルレベルの変位の検出ニーズに応えられます。第二に、非接触型の静電容量検出技術を採用しているため、測定面に損傷や摩耗を与えることがありません。第三に、優れた電磁妨害耐性を備えており、高電磁環境の作業場でも安定した測定を維持できます。第四に、自動キャリブレーション機能をサポートしており、手動操作による誤差を削減し、測定の安定性を向上させることができます。従来の変位センサの課題である精度の低さ、妨害耐性の悪さ、微小変位の検出の難しさといった問題を解決し、超高精度の変位測定のための信頼できるソリューションを提供します。
この静電容量式ナノメートル変位計の具体的な技術パラメータは以下の通りです。測定範囲：0.01μm～10mm；測定精度：フルスケールに対して±0.001μm；分解能：0.0001μm；出力信号：0～10Vのアナログ電圧または4～20mAの電流信号；プローブ直径：8mm；筐体素材：電磁妨害を回避するためのPOM絶縁素材；電源：5V DC ±5%；保護等級：IP54、一般的な作業場環境に対応；動作温度：0℃～50℃；相対湿度：結露のない状態で30%～70% RH；キャリブレーション周期：12ヶ月；全体サイズ：120mm × 60mm × 30mm。
この静電容量式ナノメートル変位計は、複数の高精度産業シチュエーションに対応しています。半導体製造業では、ウエハ加工装置の精密キャリブレーションやチップパッケージのアライメント検出に使用できます。精密工作機械産業では、CNC工作機械の位置決め検出や工具の摩耗監視に活用できます。バイオメディカル分野では、生体サンプルの微小変位検出や医療機器の精密制御に使用できます。光学製造業では、光学レンズの平坦度検査やレンズ組み立ての位置決めに活用できます。ハイエンド製造業に超高精度の変位データを提供し、企業の製品品質と生産精度の向上を支援します。
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