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フルオロシリコーン複合材料を配合したこのシーラントは、1e-6 Torrという極めて低いアウトガスレートを特徴とし、超高真空環境の要件を満たしています。優れた耐熱性を持ち、-70℃~260℃の範囲で安定して動作するため、極低温環境と高温環境の両方の真空用途に適しています。硬化後は緻密な弾性シール層を形成し、ガスの透過と漏れを効果的に防止し、アルミニウム、ステンレス鋼、ガラス、セラミックといった一般的な真空機器の基材に強く密着します。優れた化学安定性を持ち、真空環境下での各種薬品による腐食に抵抗し、未開封での保存期間は24ヶ月と長期化されているため、高精度な産業用および研究室用真空機器の設置・メンテナンスに適しています。

1本のカートリッジには250ミリリットルの半透明ペースト状の真空シーラントが充填されており、クリーンルームでの正確な施工のために真空グレードの注入ノズル付きの密閉アルミニウム箔袋に包装されています。硬化後のシーラントのショアA硬度は45、破断時の引張伸び率は400%以上、真空漏れ率は<1e-9 atm·cc/sです。施工温度範囲は15℃~30℃で、未開封の場合、無塵・涼しい乾燥した場所で保管すると24ヶ月の保存期間となります。

この真空グレードシーラントは主に真空機器の用途で使用され、半導体製造用真空チャンバーの継ぎ目シール、研究室用真空炉のシームシール、真空コーティング機器の継ぎ目シール、真空包装機のシール、高精度光学機器の真空シールに対応しています。一般的な真空機器の基材と相性が良く、高純度真空システムの汚染を避けるためには無塵環境で施工する必要があります。この製品は一般的な民生用のシール用途には適していません。