高解像度CMOS光学レンズを採用し、0.05μmの超高測定精度を実現し、ワーク表面の微細な形状を鮮明に捉えることができます。非接触検査モードにより、光学レンズや電子ウエハといった壊れやすい精密ワークの表面に一切損傷を与えません。リアルタイム3次元形状イメージングをサポートし、ワークの表面形状を視覚的に表示することができます。内蔵された産業用放熱システムにより、長時間の検査シナリオでも安定した動作を確保できます。付属の3次元形状解析ソフトウェアにより、ワーク形状の多角的な観察、誤差解析、標準サイズとの比較を実現できます。
全体寸法は650mm×480mm×320mmで、本体重量は25kgであり、実験室への固定設置に適しています。測定範囲は長さ300mm、幅300mmで、ほとんどの中型精密ワークの検査ニーズに対応できます。スキャン速度は30mm/sに達し、従来の接触式プロフィロメータより3倍速いです。光学レンズは5倍と10倍の交換可能な倍率オプションを備え、異なる表面精度の検査要件に適応できます。イーサネットインターフェースを介したリモートデータ伝送をサポートし、実験室での検査データの集中管理を実現できます。
主に光学製造業におけるレンズやプリズムといった光学部品の表面形状検査に使用されます。半導体ウエハやフレキシブル基板といった壊れやすい電子部品の非破壊検査にも対応しています。生体研究分野における細胞スライドや組織切片といった生体サンプルの微細形状検査や、新エネルギー産業における精密セラミック部品の精密寸法検査にも活用されています。
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